MEMS structure for flow sensor

Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.

Сведения о семействе

Основная публикация
CN101903752B
Приоритет
2007-12-19
Заявитель
霍尼韦尔国际公司
Среда
газ
Принцип
MEMS

Заявленное решение

A MEMS based flow sensor is disclosed which generally incorporate isolation between a sensing structure and the sensed media. An internal flow channel can be configured by attaching a backing structure with flow openings to the back of the sensing structure. The sensing structure can be composed of …

Ограничения

Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.

Статус и источники

требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.