Mass flow controller with onboard diagnostics, prognostics, and data logging

Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.

Сведения о семействе

Основная публикация
US9766635B2
Приоритет
2011-01-20
Заявитель
Hitachi Metals, Ltd.
Среда
газ
Принцип
тепловой или массовый

Заявленное решение

A mass flow controller and method for operating the same is disclosed. The mass flow controller includes a mass flow control system to control the mass flow rate of a fluid, and a data logging component that obtains snapshots of condition-specific-data for each of a plurality of reoccurring …

Ограничения

Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.

Статус и источники

требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.