Mass flow meter and mass flow controller

Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.

Сведения о семействе

Основная публикация
US8356623B2
Приоритет
2008-12-25
Заявитель
Horiba Stec, Co., Ltd.
Среда
газ
Принцип
тепловой или массовый

Заявленное решение

In order to improve a measurement accuracy of a mass flow meter, the mass flow meter comprises a flow rate calculating section that obtains an output signal from a sensor section having a thermosensitive resistive element arranged in a flow channel where a sample gas flows and that calculates a …

Ограничения

Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.

Статус и источники

требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.