Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.
Сведения о семействе
- Основная публикация
- US7752910B2
- Приоритет
- 2004-02-02
- Заявитель
- Siargo, Inc.
- Среда
- газ
- Принцип
- тепловой или массовый
Заявленное решение
SUMMARY OF THE INVENTION According it is an object of the present invention to provide a MEMS mass flow sensor and MEMS flow sensor array with low heating power consumption and large measurable flow rate range. In addition, the present invention further discloses the methods for making the mass …
Ограничения
Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.
Статус и источники
требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.