Micromachined thermal mass flow sensors and insertion type flow meters and …

Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.

Сведения о семействе

Основная публикация
US7536908B2
Приоритет
2004-03-11
Заявитель
Siargo, Ltd.
Среда
газ
Принцип
тепловой

Заявленное решение

The present invention describes an improved MEMS mass flow sensor , which is capable of simultaneously combining both A-type and C-Type operations to achieve significantly expanded measurable flow rate range, e.g., the ratio of the detectable maximum to minimum flow rates could achieve 1000:1. In …

Ограничения

Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.

Статус и источники

требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.