Thermal fluid flow sensor

Важно: Обзор не является заключением о патентной чистоте или свободе использования.

Сведения о семействе

Основная публикация
CN114902020B
Приоритет
2019-10-21
Заявитель
弗卢斯索有限公司
Среда
жидкость
Принцип
тепловой

Заявленное решение

We disclose herein a flow and heat conduction sensor comprising: a semiconductor substrate including an etched portion; a dielectric region located on the semiconductor substrate, wherein the dielectric region includes at least one dielectric film located above the etched portion of the …

Ограничения

Применимость и объём прав зависят от формулы, национальной фазы и актуального статуса.

Статус и источники

требует актуальной проверки в официальном реестре. Дата проверки ссылки и статуса: 2026-07-14. Официальный реестр или документ.