Микромеханические тепловые датчики расхода: обзор

Работа систематизирует термоанемометрические, калориметрические и времяпролётные микродатчики, их материалы и способы считывания. Обзор объясняет преимущества миниатюризации и паразитные пути теплопередачи.

Библиографические данные

DOI
10.3390/mi3030550
Авторы
Год
2012

Ограничения

Большинство сопоставляемых устройств лабораторные; параметры разных конструкций нельзя сравнивать без одинаковых условий среды.

Доступ

Законная открытая версия полного текста

Последняя техническая проверка: 14.07.2026.