Работа систематизирует термоанемометрические, калориметрические и времяпролётные микродатчики, их материалы и способы считывания. Обзор объясняет преимущества миниатюризации и паразитные пути теплопередачи.
Инженерное обсуждение
Работа включена для доказательного покрытия принципа «thermal» и среды «general».
Библиографические данные
- Оригинальное название
- Micromachined Thermal Flow Sensors—A Review
- DOI
- 10.3390/mi3030550
- Авторы
- Jonathan T. W. Kuo; Lawrence Yu; Ellis Meng
- Издание
- Micromachines
- Год
- 2012
- Принцип
- thermal
Ограничения
Большинство сопоставляемых устройств лабораторные; параметры разных конструкций нельзя сравнивать без одинаковых условий среды.
Доступ и проверка
Законная открытая версия полного текста
Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.