Авторы последовательно связывают сосредоточенную модель, расчёт конструкции и изготовление кремниевого микродатчика. Эксперимент показывает применимость кориолисова принципа к очень малым массовым расходам и позволяет оценивать компромисс между чувствительностью и перепадом давления.
Библиографические данные
- DOI
- 10.1088/0960-1317/20/12/125001
- Авторы
- Год
- 2010
Ограничения
Результаты относятся к конкретной микромеханической геометрии и не описывают промышленную стойкость к загрязнению.
Доступ
Последняя техническая проверка: 14.07.2026.