Авторы последовательно связывают сосредоточенную модель, расчёт конструкции и изготовление кремниевого микродатчика. Эксперимент показывает применимость кориолисова принципа к очень малым массовым расходам и позволяет оценивать компромисс между чувствительностью и перепадом давления.
Инженерное обсуждение
Работа включена для доказательного покрытия принципа «coriolis» и среды «gas».
Библиографические данные
- Оригинальное название
- Modeling, design, fabrication and characterization of a micro Coriolis mass flow sensor
- DOI
- 10.1088/0960-1317/20/12/125001
- Авторы
- Jeroen Haneveld; T.S.J. Lammerink; Meint J. de Boer; R. G. P. Sanders; A. Mehendale; Joost Conrad Lötters; Marcel Dijkstra; Remco J. Wiegerink
- Издание
- Journal of Micromechanics and Microengineering
- Год
- 2010
- Принцип
- coriolis
Ограничения
Результаты относятся к конкретной микромеханической геометрии и не описывают промышленную стойкость к загрязнению.
Доступ и проверка
Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.