Обзор систематизирует тепловые и нетепловые МЭМС-принципы, материалы, диапазоны задач и требования к газам и жидкостям. Он используется для сопоставления энергопотребления, чувствительности и интегрируемости.
Инженерное обсуждение
Работа включена для доказательного покрытия принципа «microfluidic» и среды «gas».
Библиографические данные
- Оригинальное название
- Design and applications of MEMS flow sensors: A review
- DOI
- 10.1016/j.sna.2019.06.020
- Авторы
- Fatemeh Ejeian; Shohreh Azadi; Amir Razmjou; Yasin Orooji; Ajay Giri Prakash Kottapalli; Majid Ebrahimi Warkiani; Mohsen Asadnia
- Издание
- Sensors and Actuators A Physical
- Год
- 2019
- Принцип
- microfluidic
Ограничения
Сводные характеристики взяты из разных экспериментов и не являются прямым сравнительным испытанием.
Доступ и проверка
Законная открытая версия полного текста
Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.