Описан пьезорезистивный микроконсольный датчик, отклоняемый воздушным потоком. Изготовление, электрический отклик и механическая чувствительность связываются в единую конструкцию малогабаритного датчика.
Инженерное обсуждение
Работа включена для доказательного покрытия принципа «microfluidic» и среды «gas».
Библиографические данные
- Оригинальное название
- A MEMS-based Air Flow Sensor with a Free-standing Micro-cantilever Structure
- DOI
- 10.3390/s7102389
- Авторы
- Yu‐Hsiang Wang; Chia‐Yen Lee; Che-Ming Chiang
- Издание
- Sensors
- Год
- 2007
- Принцип
- microfluidic
Ограничения
Консоль чувствительна к ориентации, механическим перегрузкам и загрязнению; статья не подтверждает долговременную промышленную стабильность.
Доступ и проверка
Законная открытая версия полного текста
Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.