Микрорасходометрия и MEMS газа — Blue, 2020

Схема направления исследования расхода: microfluidic
Тематическая схема редакции; не является конструкцией конкретного прибора.

Работа авторов Blue (2020) включена в расширенную научную карту по теме «микрорасходометрия и mems». Обзор основан на проверенных библиографических метаданных и доступной авторской аннотации.

Инженерное обсуждение

Работа расширяет раздел малых расходов: микроканалы, MEMS-конструкции, время отклика и поверхностные эффекты. Масштабирование результата на другой канал или среду требует отдельной проверки.

Библиографические данные

Оригинальное название
MEMS Gas Flow Sensor Based on Thermally Induced Cantilever Resonance Frequency Shift
DOI
10.1109/jsen.2020.2964323
Авторы
Robert Blue; James G. Brown; Lijie Li; Ralf Bauer; Deepak Uttamchandani
Издание
IEEE Sensors Journal
Год
2020
Принцип
microfluidic

Ограничения

Карточка расширенного корпуса не заменяет чтение полного текста. Числовые результаты и выводы применимы только к условиям первичной публикации.

Доступ и проверка

Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.