Микрорасходометрия и MEMS газа — Rajavelu, 2013

Схема направления исследования расхода: microfluidic
Тематическая схема редакции; не является конструкцией конкретного прибора.

Работа авторов Rajavelu (2013) включена в расширенную научную карту по теме «микрорасходометрия и mems». Обзор основан на проверенных библиографических метаданных; аннотация в открытых метаданных отсутствует.

Инженерное обсуждение

Работа расширяет раздел малых расходов: микроканалы, MEMS-конструкции, время отклика и поверхностные эффекты. Масштабирование результата на другой канал или среду требует отдельной проверки.

Библиографические данные

Оригинальное название
Perforated diaphragms employed piezoresistive MEMS pressure sensor for sensitivity enhancement in gas flow measurement
DOI
10.1016/j.flowmeasinst.2013.12.004
Авторы
M. Rajavelu; D. Sivakumar; R. Joseph Daniel; K. Sumangala
Издание
Flow Measurement and Instrumentation
Год
2013
Принцип
microfluidic

Ограничения

Карточка расширенного корпуса не заменяет чтение полного текста. Числовые результаты и выводы применимы только к условиям первичной публикации.

Доступ и проверка

Источник метаданных: карточка публикации. Проверено: 2026-07-14.